真空兼容编码器
高真空编码器MicroE Systems公司生产的增量式编码器，配有小型真空级传感器，用于在真空中操作的运动控制应用。Mercury™和Mercury II™真空编码器在一个广泛的应用，因为它们的性能，体积小，并且在高真空等级组合被指定。选择从与可编程数字输出，模拟输出，或来自传感器的数字输出右模型，全部采用真空兼容材料额定功率高达10构建的-8托。所有传感器可用于线性，旋转和弧段刻度。
传感器只有8.2mm高，分辨率高达1.2nm，周期误差±20nm，在最紧凑的真空应用中实现了无与伦比的运动系统性能。此外，由于水银编码器传感器的低功耗，热效应最小-大多数型号仅0.25W。所有型号的性能在10-8托与可忽略的排气。烘烤的额定温度为150°C 48小时。水星和水星II型真空编码器在高磁场环境下工作。
真空兼容的线性和旋转玻璃天平的长度从13毫米到2米，直径高达121毫米。旋转玻璃秤可提供或无轮毂，在弧段。
特点:
- 线性和旋转
- 分辨率为5µm ~ 1.2nm线性，CPR旋转6k ~ 268M
- 测量长度达2m使用玻璃鳞片
- 精度可达±1µm
- 数字、模拟或高速串行输出
- 最高可达10-8托
- 最广泛的定位公差：您可以对齐水星传感器在30秒内
- 可选软件，用于设置，数据图，诊断和可编程功能(可编程模型)
