真空兼容编码器
高真空编码器来自微型系统是带有小真空传感器的增量编码器，用于在真空中操作的运动控制应用。Mercury™和Mercury II™真空编码器由于性能，小尺寸和高真空等级的结合，在广泛的应用中指定。从传感器中选择具有可编程数字输出，模拟输出或数字输出的型号，所有模型都使用真空兼容的材料构建，最多可达10-8托尔。所有传感器都可以与线性，旋转和电弧段尺度一起使用。
传感器只有8.2毫米高，能够可分辨率高达1.2nm且周期性误差为±20nm，因此在最紧凑的真空应用中实现了无与伦比的运动系统性能。另外，由于汞编码器传感器的功耗低，热效应被最小化 - 对于大多数型号而言，热效应仅为0.25W。所有型号都以10-8的托尔（Torr）表现易用。烘烤在150°C的额定值48小时。汞和汞II真空编码器在高磁场环境中执行。
与真空兼容的线性和旋转玻璃尺度的长度从13mm到2m的长度可用，直径至121mm。旋转玻璃尺度有或没有轮毂，并且在电弧段中可用。
特征：
- 线性或旋转
- 从5µm到1.2nm线性的分辨率，6K至268M CPR旋转
- 使用玻璃尺度测量长度高达2m的长度
- 精度高达±1µm
- 数字，模拟或高速串行输出
- 额定最多10-8托尔
- 最广泛的对齐公差：您可以在30秒内对齐汞传感器
- 用于设置，数据图，诊断和可编程功能（可编程模型）的可选软件
